<산업용 전자기기 외주수리 전문 블로그 아키솔루션(Archi-Solution)>
ASTEX (MKS ASTeX) 시스템, 모델명 FI20162-1 장비의 정밀 진단 및 오버홀(Overhaul)
점검 수리 사례
[ 제조사 : ASTEX (MKS Instruments) ]
[ 시리즈 : UV LAMP (조사기) ]
[ 모델명 : FI20162-1 ]
[입고 시 고장 증상]
1.출력 불안정
2.가동 중 Interlock(인터락) 발생
[점검내용]
1.분해 및 원인파악
2.내외부 오염물과 분진 등 초음파 세척 및 정밀 폴리싱
3.마그네트론 헤드(Mag Head) 교체
4.절연 재킷 교체
5.HV 커넥터 및 배선 리뉴얼
6.Diode/Sensing 회로 수리
7.냉각 라인 화학 세정제 수냉 관로 스케일 완전 제거
8.누수 유무 'Zero' 확인
[TEST]
1.자체 로드 뱅크 전원 테스트 완료
2.고객사 현장 계측 시스템 테스트 완료
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